Tài liệu Thư viện số

Danh mục TaiLieu.VN

Nghiên cứu ảnh hưởng của độ ẩm đến cảm biến SAW hóa học cấu trúc đa lớp Graphene /AlN/Si

Nghiên cứu này trình bày phương pháp mô phỏng FEM 2D và thực nghiệm chế tạo khảo sát cảm biến SAW có cấu trúc đa lớp Graphene/AlN/Si thay đổi theo độ ẩm. Cảm biến SAW hóa học là loại cảm biến dựa trên hiện tượng thay đổi sóng âm bề mặt.

Từ khóa: Tự động hóa, Phương pháp mô phỏng FEM 2D, Cảm biến SAW, Cấu trúc đa lớp Graphene, Vận tốc sóng âm bề mặt

6 p tailieu_hepc 26/02/2024 54 0

Bình luận

ERROR:connection to 10.20.1.101:9315 failed (errno=111, msg=Connection refused)
ERROR:connection to 10.20.1.101:9315 failed (errno=111, msg=Connection refused)