Nghiên cứu ảnh hưởng của độ ẩm đến cảm biến SAW hóa học cấu trúc đa lớp Graphene /AlN/Si
Nghiên cứu này trình bày phương pháp mô phỏng FEM 2D và thực nghiệm chế tạo khảo sát cảm biến SAW có cấu trúc đa lớp Graphene/AlN/Si thay đổi theo độ ẩm. Cảm biến SAW hóa học là loại cảm biến dựa trên hiện tượng thay đổi sóng âm bề mặt.
Xin lỗi bạn không thể down load tài liệu này. Bạn có thể xem tài liệu trực tuyến trên website hoặc liên hệ thư viện trường để được hướng dẫn. Cảm ơn bạn đã sử dụng dịch vụ của chúng tôi.
Bạn vui lòng tham khảo thỏa thuận sử dụng của thư viện số.