Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF
Bài viết Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF nghiên cứu xác định các đặc tính cơ học và ma sát, sử ảnh hưởng của các thông số công nghệ (trong điều kiện nguồn khí phản ứng N2 cung cấp khác nhau). Từ đó tìm ra phạm vi và thông số kiểm soát để tìm ra lớp phủ có tính chất tối ưu nhất.
Xin lỗi bạn không thể down load tài liệu này. Bạn có thể xem tài liệu trực tuyến trên website hoặc liên hệ thư viện trường để được hướng dẫn. Cảm ơn bạn đã sử dụng dịch vụ của chúng tôi.
Bạn vui lòng tham khảo thỏa thuận sử dụng của thư viện số.