Tài liệu Thư viện số

Danh mục TaiLieu.VN

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF

Bài viết Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF nghiên cứu xác định các đặc tính cơ học và ma sát, sử ảnh hưởng của các thông số công nghệ (trong điều kiện nguồn khí phản ứng N2 cung cấp khác nhau). Từ đó tìm ra phạm vi và thông số kiểm soát để tìm ra lớp phủ có tính chất tối ưu nhất.

Từ khóa: Phún xạ magnetron rf, Hệ số ma sát, Thể tích mài mòn, Chống mài mòn TiZrN, Phương pháp phún xạ

7 p tailieu_hepc 24/11/2023 13 0

Bình luận