Thiết kế và chế tạo cách tử 2D dùng trong hệ thống đo lường đa chiều

Bài viết Thiết kế và chế tạo cách tử 2D dùng trong hệ thống đo lường đa chiều trình bày quy trình từ nghiên cứu đến thiết kế, chế tạo một loại cách tử 2D có bước 5 μm để sử dụng trong một hệ thống đo lường đa chiều.