- Bạn vui lòng tham khảo Thỏa Thuận Sử Dụng của Thư Viện Số
Tài liệu Thư viện số
Danh mục TaiLieu.VN
Nghiên cứu ảnh hưởng của độ ẩm đến cảm biến SAW hóa học cấu trúc đa lớp Graphene /AlN/Si
Nghiên cứu này trình bày phương pháp mô phỏng FEM 2D và thực nghiệm chế tạo khảo sát cảm biến SAW có cấu trúc đa lớp Graphene/AlN/Si thay đổi theo độ ẩm. Cảm biến SAW hóa học là loại cảm biến dựa trên hiện tượng thay đổi sóng âm bề mặt.
6 p hepc 26/02/2024 25 0
Từ khóa: Tự động hóa, Phương pháp mô phỏng FEM 2D, Cảm biến SAW, Cấu trúc đa lớp Graphene, Vận tốc sóng âm bề mặt
Đăng nhập
Bộ sưu tập nổi bật